標稱尺寸外徑8mm的微型微壓傳感器是專為空氣動力學研究流場分布設(shè)計的，它特別適用于模型尺寸較厚或模型中空的實驗工況。傳統(tǒng)的用毛細管引出壓力用掃描閥巡測的方式，因毛細管頻響的損失而測得的為穩(wěn)態(tài)流場分布?，F(xiàn)場直接布置微型傳感器的方法可獲得精確的動態(tài)流場分布。
CYG507的壓力敏感元件采用的MEMS技術(shù)設(shè)計與制造。采用CAD技術(shù)的力敏結(jié)構(gòu)與版圖設(shè)計優(yōu)化了力學模型、雙島膜結(jié)構(gòu)（低微壓）和梁膜島復合結(jié)構(gòu)（超微壓）使得壓力敏感元件實現(xiàn)了低量程、高靈敏度和優(yōu)良線性度的統(tǒng)一兼得，應力互補設(shè)計和無應力微封裝技術(shù)實現(xiàn)了量程下的良好穩(wěn)定性。
CYG507為表差壓型，有探針型和螺紋安裝式兩種外形。探針型產(chǎn)品量程2.5kpa以上的外徑為6mm，2.5kpa以下的量程的外徑為8mm，長度均為18mm，螺紋型的螺紋為M10×1。外形見附圖。
CYG507采用敏感元件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性。CYG507采用準齊平無管腔的封裝設(shè)計，因此有優(yōu)良的動態(tài)特性，可用頻率即使是量程500pa的品種可達1000Hz以上。
CYG507的可選量程為0.5、1、1.6、2.5、4、10、16、25kpa。
1、性能指標參數(shù)
| 指標/檔級 | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復性 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 零位時漂 ＜mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.2 | 5 | 5 | 0.3 |
| JB | 0.2 | 0.2 | 3 | 3 | 0.2 |
2、滿量程輸出： 最小值20mv 典型值60mv 值100mv
3、輸入輸出阻抗：最小值2 kΩ 典型值5 kΩ 值8kΩ
4、輸入工作電流：2mA或1.5mA
5、工作溫度范圍：-40℃～+105℃
6、補償溫度范圍：-10℃～+60℃
7、過載能力： 額定量程的300%
8、外形尺寸圖：
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